Spectrum-Pro kombiniert die Stärken eines Präzisions-Optikphotometers und eines Quarzkristallmonitors, um ein neues Präzisionsniveau bei der Endpunktdetektion optischer Beschichtungen zu ermöglichen. Es unterstützt eine Vielzahl von Monitoring-Strategien, darunter Reflexion, Transmission und Direktmonitoring. Die neu entwickelten optischen Komponenten maximieren den Lichtdurchsatz, minimieren das Rauschen und vereinfachen die Ausrichtung. Die Optik kann für nahezu jede Wellenlänge oder Kammerkonfiguration angepasst werden. Das System verwendet handelsübliche Komponenten für eine einfache Wartung und ist mit einer Vielzahl von Kristall-Monitoringgeräten kompatibel.
Resource
