Der Dynavac Spectrum-Pro Breitband-Optikmonitor ist ein voll integriertes Hardware- und Softwareprodukt, das ein neues Maß an Kontrolle bei der Herstellung von Dünnschichten bietet. Er baut auf dem Erfolg der Spectrum-Pro Einwellen-Monitorplattform auf und ergänzt diese um intelligente Schichtanalyse und In-situ-Reoptimierung. Breitbandmessungen von Beschichtungen werden während der Abscheidung mit einer Vielzahl von Hochgeschwindigkeitsspektrometern in Echtzeit erfasst. Die Messwerte werden analysiert, mit Beschichtungsmodellen verglichen und bei Bedarf in Echtzeit angepasst, um die Leistungsziele der Beschichtung zu erreichen. Dies führt zu weniger Testläufen, einer höheren Wiederholbarkeit und der Fähigkeit, fortschrittlichere Beschichtungen herzustellen.
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